Принцип действия источников серии XWS основан на явлении оптического разряда в ксеноне под действием непрерывного излучения мощного лазера. По сравнению с традиционными газоразрядными лампами, источники XWS обладают более высокой спектральной яркостью, широким спектральным диапазоном, высокой стабильностью излучения и длительным сроком службы.