SNX01 — Сканирующий зондовый микроскоп

SNX01 - Сканирующий зондовый микроскоп, адаптированный для интеграции с ультрамикротомом и горизонтальным оптическим микроскопом ​

s1

Внешний вид головки СЗМ SNX01

Измерительная головка СЗМ с высокоапертурным фронтальным оптическим доступом к поверхности образца адаптирована для совмещения с ультрамикротом и для коррелятивных зондовых и оптических измерений поверхности образца.

Измерительная головка СЗМ SNX01 предназначена для выполнения СЗМ-измерений поверхности образцов после микротомирования и выполнения исследований методом сканирующей зондовой нанотомографии. Она адаптирована для сопряжения со сканирующим XYZ пьезостоликом устанавливаемым на ультрамикротом для сканирования образцов.

Фронтальный вид головки СЗМ SNX01, установленной на ультрамикротоме

Боковой вид головки СЗМ SNX01, установленной на ультрамикротоме.

Трехкоординатный XYZ сканирующий пьезостолик для сканирования образцом с оптическими датчиками позиционирования и системой обратной связи, адаптированный к совмещению с ультрамикротом. XYZ пьезостолик, устанавливается на подвижную консоль ультрамикротома и предназначен для сканирования образцом при выполнении СЗМ и оптических измерений после среза образца ультрамикротомом. XYZ пьезостолик адаптирован для совмещения с измерительной головкой СЗМ SNX01.

Вид XYZ пьезостолика, установленного на ультрамикротоме. 1 – образец, 2, 3 – направляющие для установки СЗМ-головки, 4 – стойки для установки СЗМ-головки.

Основные характеристики:

  1. Измерительная головка оснащена оптической системой (лазер-фотодиод) детектирования отклонения зондовых датчиков (кантилеверов) с возможностью мануального наведения луча лазера на кантилевер и отраженного от кантилевера луча в центр 4-секционного фотодиода.
  2. Измерительная головка поддерживает несколько типов съемных держателей зондов: для стандартных кантилеверов, для зондов туннельной микроскопии, для зондов типа tuning fork с вертикальным или горизонтальным расположением и для других типов.
  3. Режимы СЗМ измерений – топография (моды: контактная, тэппинг); фазовое изображение.
  4. Разрешение зондовых измерений поверхности: не менее 10 нм. Шум по оси Z (RMS): не более 0.05 нм.
  5. Измерительная головка оснащена системой автоматического подвода зонда к образцу, управляемой шаговым двигателем, со следующими параметрами:
  • рабочее расстояние – не менее 5 мм,
  • точность шага в направлении образца < 0.1 мкм,
  • точность возврата в плоскости сканирования (XY) – < 1 мкм.
  • плоскопараллельный подвод зонда к образцу
  1. Диапазон сканирования пьезостолика 50x50x5.0 мкм (при +20 °С);
  2. Пьезостолик оснащен оптическими датчиками позиционирования (с точностью не менее 2 нм) и системой обратной связи по трем координантам;
  3. Резонансные частоты пьезостолика по координатам XY – не менее 5 кГц.
  4. Резонансная частота пьезостолика по координате Z – не менее 50 кГц.
  5. Минимальный шаг сканирования пьезостолика: 0.1 нм.
  6. Максимальное отклонение пьезостолика от плоскости сканирования < 0.1°;

Коррелятивная оптическая микроскопия:

СЗМ SNX01 дает возможность осуществлять высокоапертурный фронтальный оптический доступ к поверхности образца.

При использовании оптических объективов 50× и 100× с рабочим отрезком от 13 мм числовая оптическая апертура для наблюдения образца составляет не менее 0.5. Возможность коррелятивных оптических исследований образцов с использованием таких высокоразрешающих и высокоапертурных объективов позволяет одновременно выполнять СЗМ и микроспектроскопические измерения поверхности в режиме послойной нанотомографии. Данная характеристика головки уникальна и не имеет прямых аналогов.

Стоимость базовой конфигурации системы – 5 млн. руб. Окончательная стоимость системы определяется по результатам согласования ТЗ с заказчиком.